Prinsip kerja pembersih plasma

Plasma cleaners use plasma discharge to generate a high-energy oxidation reaction. Using oxygen or a mixed gas (such as oxygen + hydrogen) in the discharge zone, they form an ion plasma (energy range 5-15 eV). The high-energy electrons and radiation from these plasmas decompose surface contaminants (organic matter oxidation rate >90%), menghasilkan produk gas atau larut. Teknologi ini menawarkan kimia - percuma, bukan - pembersihan kenalan, menjadikannya sesuai untuk rawatan permukaan logam (seperti keluli tahan karat dan aluminium) dan polimer (seperti PTFE), dan sangat baik - yang sesuai untuk komponen elektronik pembersihan dan peranti perubatan.

Dari segi kecekapan pembersihan, masa rawatan biasa berkisar antara 2-10 minit setiap kumpulan. Ia boleh mengeluarkan bahan cemar nanoscale (saiz zarah<100 nm), reduce surface contact angles by over 40°, and significantly improve material adhesion. Important operating parameters: maintain power between 50-1000W, air pressure between 10-100 Pa, and avoid overheating the substrate (temperature <150°C).